電子半導體廢氣治理方案

發布日期：2022-12-16瀏覽次數：14920

　　電子半導體廢氣治理方案

　　電子廠半導體筒式沸石轉輪技術，在實際設計中，需要加洗滌塔作為預處理裝置，來攔截粉塵和易溶性的酸堿廢氣。

　　半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。

　　半導體制造工藝產生的揮發性有機廢氣，主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序，與半導體制造工藝相比，半導體封裝工藝產生的有機廢氣較為簡單，主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過程產生的烘烤廢氣

　　針對電子廠半導體行業有機廢氣和毒性氣體的治理，筒式沸石轉輪廢氣處理技術的凈化原理是：

　　將普通的220V/380V交流電通過變壓器，變頻器轉換為高頻高壓的電壓，產生足以擊穿氣體的電壓，釋放出高能電子，高能電子破壞有機廢氣中的氣體分子之間的化學鍵，斷開這些化學鍵從而產生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體，等離子體中的氧原子和碳原子結合形成二氧化碳，氧原子和氫原子結合形成水分子，終產生排放到大氣中的氣體為無污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。

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